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S1000-掃描電鏡放大倍率校準(zhǔn)圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品

時間:2019-09-06 作者:普天同創(chuàng) 閱讀:5145


概述簡介:

        普天同創(chuàng)(深圳)科技有限公司 為掃描電鏡客戶定制放大倍率標(biāo)準(zhǔn)樣品。標(biāo)樣基質(zhì)材料為單晶硅或石英玻璃基片,材料性質(zhì)穩(wěn)定。由德國聯(lián)邦物理研究所(PTB)對線距均勻性進(jìn)行測量認(rèn)證。測量結(jié)果可直接溯源至米定義計量基準(zhǔn)。


規(guī)格尺寸

        5mm×5mm×0.5mm(長×寬×厚)


產(chǎn)品描述

     . 主體圖形為一“回”字形方框,分為4個象限,XY軸上為垂直坐標(biāo)軸方向的線距20μm的短平行線條,

     . 4個象限上分別是線距為40μm、20μm、10μm的方格網(wǎng)狀圖形和線距為5μm的X、Y雙向平行線條圖形。

     . 內(nèi)框中部又是“回”字形方框,大框和小框之間在X方向和Y方向上都有線距為5μm的平行線條,小框里面是線距為1μm或0.5μm的X、Y雙向平行線條圖形(如圖)。在5μm和1μm或0.5μm的線距結(jié)構(gòu)上還有一些十字形和圓點,可用于在較大放大倍率下圖像的聚集和像散調(diào)整。不同的線距大小可用于從10×~100,000×放大倍率范圍的校準(zhǔn),而把40μm、20μm和10μm的線距結(jié)構(gòu)設(shè)計成方格形,是為了在對放大倍率進(jìn)行準(zhǔn)確校準(zhǔn)的同時,可以對圖像的畸變、像散等進(jìn)行校驗, 5μm和1μm/0.5μm的線距結(jié)構(gòu)也同時具有X、Y兩個方向的平行線條,是為了方便同時對X、Y兩個方向進(jìn)行放大倍率的校準(zhǔn)而不必機(jī)械旋轉(zhuǎn)標(biāo)準(zhǔn)器。


主要用途:

     . 可用于同時對任意兩個垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進(jìn)行檢查或校正,是校準(zhǔn)從10×~100,000×范圍的圖像放大倍率的最有效的圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品
     . 可用于對圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進(jìn)行校驗,是評價掃描電鏡圖像質(zhì)量的個重要工具
     . 可直接用于同一量級物體長度的精確比對測量
     . 對樣品臺傾斜角和電子傾斜以及旋轉(zhuǎn)調(diào)整功能的檢驗也有較好的作用

     . 利用標(biāo)樣上的“點子”圖像,可對電子束作漂移檢驗和樣品臺復(fù)位檢驗


使用方法:

     . 盡量使用較低的工作電壓,如5KeV或更低
     . 盡量使用較小的束流,并避免對標(biāo)準(zhǔn)樣品的長時間掃描
     . 注意,測量時必須選擇“線周期”進(jìn)行測量(即 Pitch),即一黑一白為“一根線”
     . 必須同時測量雙向的距離,交角為90度
     . 測量的雙向距離大約占圖像的二分之一或三分之二
     . 同時,通常在適當(dāng)倍率下,應(yīng)測量3-5條線值的平均值;如我們在標(biāo)樣說明書中所示的照片那樣

     . 可以直接參照標(biāo)樣說明書的那八張相近圖像進(jìn)行測量


注意事項:

        使用前應(yīng)認(rèn)真檢查標(biāo)準(zhǔn)樣品表面有無污染物和損壞,因為這會影響校準(zhǔn)。請勿使用已破損或有污染物的標(biāo)準(zhǔn)樣品!可用清潔干燥的空氣或氮氣清除標(biāo)準(zhǔn)樣品上的灰塵、碎片或其他污染物,注意不要損壞標(biāo)準(zhǔn)樣品。有條件的實驗室應(yīng)不定期地通過與其他標(biāo)準(zhǔn)樣品的對比來檢查標(biāo)準(zhǔn)樣品的特性和用法來確定其檢查頻率。
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